Mehr als 30 Patente belegen, wie innovativ F & K Delvotec ist

Vier Highlights stehen stellvertretend für viele wegweisende Technologien.

F & K Delvotec Patent: BPC Bond Process Control
Patent-Nr.: EP 0540189

Die Bond Process Control (Bondprozessregelung) ist das einzige industriell einsetzbare Verfahren zur Echtzeit-Regelung der Bondparameter in Abhängigkeit vom Fortschritt des Bondens. Es regelt Ultraschallenergie und Bondkraft entsprechend der laufenden Drahtverformung. Das erlaubt zum einen eine hautnahe Überwachung des Bondprozesses, also hervorragende Qualitätskontrolle. Zum anderen ermöglichst es eine Feinregelung des Prozesses und gleicht damit leichte Schwankungen in der Oberflächenqualität und der Bondbarkeit aus.

F & K Delvotec Patent: in-head Pulltester
Patent-Nr.: EP 1333263

Für manche qualitätskritischen Anwendungen ist es gewünscht, jeden Drahtbond mit einem nichtzerstörenden Pulltest zu überprüfen. Die geringe angewandte Testkraft soll lediglich Abheber, also Drähte mit sehr geringer Haftung, aufdecken. Als einziger Hersteller hat F & K Delvotec es erreicht, nicht nur einen einfachen Abheberdetektor direkt im Bondkopf zu integrieren, sondern gleich einen komplett funktionsfähigen Pulltester. Das erlaubt die Prüfung des ersten oder zweiten oder beider Bonds nicht nur auf Abheber, sondern auch auf langsames Ablösen oder Schälen, was wiederum die Prozessführung bedeutend sicherer macht.

F & K Delvotec Patent: Selbstjustierende Drahtführung
Patent-Nr.: EP 0922524

Die Zuführungseinheit für den Bonddraht muss sehr präzise justiert sein, damit der Draht an einer genau definierten Stelle unter dem Wedge platziert wird und der Bond korrekt ausgeführt werden kann. Außerdem ist sie dafür zuständig, den Drahtfluss definiert zu bremsen, damit der Bondloop immer die gleiche Form annimmt. Weil sich die Führung mit der Zeit abnutzt und weil sie für jeden Drahtdurchmesser eigens angepasst ist, muss sie möglichst rasch auswechselbar sein. Die Neuentwicklung von F & K Delvotec ist viel einfacher als die bisher verwendeten Modelle, denn sie ist ein einzelnes, sehr kostengünstiges Spritzgussteil, das statt wie bisher am Bondkopf direkt am Wedge angeklipst werden kann und sich damit automatisch selbst justiert. Damit wird einerseits die Leistung verbessert. Gleichzeitig werden Umbau- und Justierzeiten fast eliminiert.

F & K Delvotec Patent: Gold-Bondkopf
Patent-Nr.: EP 0945208

Beim Gold-Ball-Bonden ist es für einen stabilen Bondprozess entscheidend, vor Beginn des ersten Bonds einen immer gleich großen Ball zu erzeugen. Er wird aus einem definiert überstehenden Stück Bonddraht durch Anschmelzen erzeugt. Damit dieser Tail immer gleich lang wird, auch wenn beim Hochfahren des Bondkopfs das gezielte Abreißen auf gewünschter Länge nicht zuverlässig funktioniert, hat F & K Delvotec einen Zwangsmechanismus entwickelt, der die Bondkapillare nach dem zweiten Bond bei stehendem Draht und Klammer definiert hochschieben kann. Dieser Mechanismus garantiert konstante Tails und damit einen sehr robusten Bondprozess auch bei Dickschichtschaltungen und kritischen Substratoberflächen, das heißt in Anwendungen, bei denen der zweite Bond oft unkontrolliert abreißt.